
Печь для осаждения химических паров используется для изготовления углерод-углеродных композиционных материалов с требуемой плотностью. В данном оборудовании в качестве реакционного газа для химического осаждения используется углеводородный газ.
Печь для осаждения химических паров используется для изготовления углерод-углеродных композиционных материалов с требуемой плотностью. В данном оборудовании в качестве реакционного газа для химического осаждения используется углеводородный газ. После нагрева оборудования до технологической температуры углеводородный газ (реакционный газ) подаётся в печь, где реакционный газ подвергается пиролизу, после чего происходит осаждение и уплотнение загруженных изделий. Оборудование находит широкое применение во многих высокотехнологичных отраслях, включая производство полупроводников, фотоэлектрическую промышленность, производство новых энергетических материалов и другие.
| Размер рабочей зоны | 600 × 600 × 1200 мм (Д × Ш × В) — 2400 × 2800 × 3200 мм (Д × Ш × В) (возможно изготовление по индивидуальному заказу) | |
| Рабочая температура | 1200 — 2400 ℃ | |
| Способ выгрузки | верхняя выгрузка, нижняя выгрузка | |
| Способ нагрева | высококачественный графитовый резистивный нагрев | |
| Скорость нагрева | от комнатной температуры до рабочей температуры | 2 — 10 ч |
| Время охлаждения | от 2400 ℃ до 100 ℃ | ≤ 40 ч |
| Равномерность температуры | ≤ ± 5 ℃ | |
| Предельный вакуум | 10⁻⁴ Па | |
| Скорость повышения давления | ≤ 1 Па/ч | |
• Отличное качество покрытия, высокая прочность сцепления
• Точный контроль температуры, высокая стабильность процесса
• Вакуумная чистая среда, высокая чистота готовой продукции
• Широкая технологическая адаптивность, высокая степень индивидуализации
• Интеллектуальное управление, высокая эффективность и энергосбережение
• Всесторонняя система защитных блокировок, надёжная эксплуатация